一、引言

扫描隧道显微术（STM）作为一种高分辨率的表面分析技术，在材料科学、物理学、化学等领域有着广泛的应用。本文将介绍如何使用GB/T31226-2014标准，利用扫描隧道显微术测定气体配送系统部件的表面粗糙度。

二、实验设备与材料

1. 扫描隧道显微镜：选择合适的扫描隧道显微镜，确保其具有高分辨率和良好的稳定性。

2. 气体配送系统部件：选取需要测定表面粗糙度的气体配送系统部件。

3. 其他材料：如样品台、探针等。

三、实验步骤

1. 样品制备：将气体配送系统部件进行适当的清洗和处理，以确保表面清洁。

2. 安装样品：将样品安装在样品台上，并调整好位置。

3. 调节参数：根据样品的特性和实验要求，调节扫描隧道显微镜的参数，如扫描范围、扫描速度、反馈系数等。

4. 进行扫描：启动扫描隧道显微镜，对样品表面进行扫描。

5. 数据处理：对扫描得到的数据进行处理，计算出表面粗糙度参数。

四、结果与讨论

1. 表面粗糙度参数：根据实验结果，计算出气体配送系统部件的表面粗糙度参数，如Ra、Rq、Rt等。

2. 结果分析：对测定结果进行分析，讨论表面粗糙度对气体配送系统性能的影响。

五、结论

本文介绍了使用GB/T31226-2014标准，利用扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法。通过实验，得到了准确可靠的表面粗糙度参数，为气体配送系统的设计和优化提供了重要的参考依据。