一、引言

蓝宝石衬底片在半导体、光电子等领域有着广泛的应用。准确测量其厚度及厚度变化对于保证产品质量至关重要。本文将依据GB/T30857-2014标准，详细介绍蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试方法。

二、测试原理

该标准规定了使用干涉法测量蓝宝石衬底片厚度及厚度变化。通过测量干涉条纹的数量和间距，结合已知的波长，可以计算出样品的厚度。

三、测试设备

通常需要使用光学干涉仪等专业设备来进行测量。这些设备具有高精度和高分辨率，能够满足蓝宝石衬底片检测的要求。

四、测试步骤

对样品进行清洁和预处理，确保表面干净无杂质。将样品放置在干涉仪的工作台上，调整好位置。启动干涉仪，获取干涉条纹图像。通过分析图像数据，计算出样品的厚度及厚度变化。

五、注意事项

在测试过程中，需要注意样品的放置位置和方向，以确保测量结果的准确性。要避免外界干扰因素对测量结果的影响，如温度、湿度等。