ISO8573压缩干燥空气 CDA 洁净度检测服务
检测项目：
第三方检测机构依据ISO8573针对CDA中会影响制程良率的各项重要指标，提供安装后及使用期间定期检测之服务。测试项目：金属元素分析油份含量(总碳氢化合物)分析微粒子数分析(0.1um~10um)酸碱气体含量分析(阴阳离子)水份及露点分析微生物污染分析其他有机污染物分析CO/CO......
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服务流程：
省心测第三方实验室依据 ISO 8573 针对 CDA 中会影响制程良率的各项重要指标，提供安装后及使用期间定期检测之服务。
测试项目：
金属元素分析
油份含量(总碳氢化合物)分析
微粒子数分析 (0.1um ~10um )
酸碱气体含量分析 (阴阳离子)
水份及露点分析
微生物污染分析
其他有机污染物分析
CO / CO2 / NOx / SOx / H2S 含量分析
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