一、外观检测

外观检测是对微机电系统（MEMS）技术产品的表面进行检查，以确保其没有明显的缺陷或损坏。这包括检查表面是否有划痕、裂纹、污渍等。外观检测通常使用光学显微镜或电子显微镜进行。

二、尺寸检测

尺寸检测是对微机电系统（MEMS）技术产品的尺寸进行测量，以确保其符合设计要求。这包括测量长度、宽度、高度、直径等。尺寸检测通常使用光学测量仪器或电子测量仪器进行。

三、电学性能检测

电学性能检测是对微机电系统（MEMS）技术产品的电学性能进行测试，以确保其符合设计要求。这包括测量电阻、电容、电感、电压、电流等。电学性能检测通常使用电学测量仪器进行。

四、力学性能检测

力学性能检测是对微机电系统（MEMS）技术产品的力学性能进行测试，以确保其符合设计要求。这包括测量硬度、强度、韧性、疲劳寿命等。力学性能检测通常使用力学测量仪器进行。

五、可靠性检测

可靠性检测是对微机电系统（MEMS）技术产品的可靠性进行测试，以确保其在规定的条件下能够正常工作。这包括测试产品的寿命、稳定性、抗干扰能力等。可靠性检测通常使用可靠性测试仪器进行。