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一、引言
在半导体行业中，硅片的电阻率测定是一项至关重要的检测项目。GB/T6617-2009标准为硅片电阻率的测定提供了规范的方法和流程。本文将详细介绍该标准下的检测过程。
二、检测设备与材料
检测所需的主要设备包括四探针测试仪等。还需要准备合适的硅片样品以及相应的夹具等辅助材料。
三、检测步骤
要对硅片样品进行预处理，确保其表面干净、平整。将硅片准确放置在夹具上，并连接到四探针测试仪。按照标准规定的参数设置进行测试，记录相关数据。
四、数据处理与分析
对测试得到的数据进行分析和处理，去除异常值，计算出硅片的电阻率。
五、注意事项
在检测过程中，要注意环境因素对检测结果的影响，如温度、湿度等。要确保检测设备的准确性和稳定性。
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