一、外观检测

硅外延用三氯氢硅在外观上应呈现无色透明液体状。在检测时，需仔细观察样品的颜色、透明度以及是否存在悬浮物或杂质等情况。任何明显的颜色变化或不透明现象都可能暗示着产品存在质量问题。

二、纯度检测

依据GB/T30652-2014标准，对硅外延用三氯氢硅的纯度进行精确检测至关重要。这涉及到使用先进的分析仪器和技术，如气相色谱等，来准确测定其中硅、氯等主要成分的含量比例。纯度的高低直接影响到硅外延层的质量和性能。

三、杂质检测

除了主要成分，杂质的含量也必须严格把控。对硼、磷等可能影响硅外延层电学性能的杂质进行检测。通过特定的检测方法，确保杂质含量在标准允许的范围内，以保障硅外延层的质量稳定性。

四、化学稳定性检测

硅外延用三氯氢硅应具有良好的化学稳定性。检测其在不同条件下（如温度、压力、化学试剂等）的稳定性，防止在后续的生产过程中因化学变化而导致产品质量下降或出现安全隐患。