一、引言

随着光伏产业的快速发展，对光伏电池用硅材料的质量要求日益提高。B、Al受主杂质含量是影响硅材料性能的关键因素之一。准确测量硅材料中B、Al受主杂质含量具有重要意义。本文将介绍根据GB/T29851-2013标准进行光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法。

二、实验部分

（一）样品制备

将待测硅材料切割成适当大小的薄片，然后用乙醇超声清洗，去除表面杂质。将清洗后的样品放入真空干燥箱中干燥，备用。

（二）仪器设备

采用二次离子质谱仪（SIMS）进行测量。仪器应具备高分辨率、高灵敏度和良好的稳定性。

（三）测量条件

根据GB/T29851-2013标准，选择合适的离子源、加速电压、束流强度和测量时间等测量条件。

三、结果与讨论

（一）测量结果

对不同批次的光伏电池用硅材料进行测量，得到B、Al受主杂质含量的测量结果。

（二）测量重复性

对同一批次的硅材料进行多次测量，计算测量结果的相对标准偏差（RSD），评估测量重复性。

（三）测量准确性

将测量结果与其他权威方法的测量结果进行比较，评估测量准确性。

四、结论

本文介绍了根据GB/T29851-2013标准进行光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法。该方法具有操作简单、测量准确、重复性好等优点，能够满足光伏电池用硅材料质量控制的要求。