材料表面特性及结构表征

材料表面特性及结构表征 ——SEM+EDS

基本原理：

电子枪发出电子，经过加速电压加速后轰击到测试样品表面，激发出各种信号，其中有二次电子（SEI），被散射电子（BEI），特征X-ray，俄歇电子等信号，其中SEI及BEI用于成像，特征X-ray则用于材料表面元素分析。

目的意义：

通过对涂镀层、形貌、表面元素的测试，可以监控产品质量，有助于改善工艺。

样品的要求：

非磁性，不易潮解，且无挥发性的固态样品，尺寸要求：小于3CM*3CM*3CM样品。若样品不符合要求尺寸，须告知样品可否破坏！

测试项目：

1.表面形貌观察，断口观察 ：JY/T 010-1996 分析型扫描电子显微镜方法通则

2.微薄镀层厚度测量 ：GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量

3.表面元素定性半定量分析 ：GB/T 17359-1998 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则

4.锡须观察 :JESD 22a121