检测介绍

光刻胶，也称为光致抗蚀剂，是一种对光敏感的混合液体，能够在紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射下发生溶解度变化，通过曝光、显影等光刻工序将所需的微细图形从光罩（掩模版）转移到待加工基片上。光刻胶主要成分包括增感剂（光引发剂）、感光树脂（聚合剂）、溶剂与助剂，这些成分共同决定了光刻胶的感光度、分辨率、硬度、柔韧性等基本属性。

光刻胶的应用范围广泛，主要涉及集成电路、显示、PCB等领域，是光刻工艺的核心材料。在半导体集成电路制造行业，光刻胶用于超过十次的光刻过程中，将电路图案转移到硅片上。

省心测第三方实验室是专业的光刻胶检测机构，可开展光刻胶检测服务。  

检测范围

光刻胶可以分为光聚合型、光分解型、光交联型和化学放大型。
1、光聚合型光刻胶采用烯类单体，在光作用下生成自由基，引发单体聚合反应生成聚合物。
2、光分解型光刻胶，采用含有重氮醌类化合物（DQN）材料作为感光剂，其经过光照后，发生光分解反应。
3、光交联型光刻胶采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料，在光的作用下，形成不溶性的网状结构，起到抗蚀作用。
4、化学放大型光刻胶采用难以溶解的聚乙烯树脂，使用光致酸剂（PAG）作为光引发剂。

检测项目

理化性能：固含量、粘度、留膜率、薄膜厚度、粘附力等
可靠性能：耐化学性能、耐溶剂冲击性、溶解性、耐化学性、耐腐蚀性能等
光学性能：色度、辉度、对比度测试、显影速度、曝光度等  

检测标准

GB/T 43793.1-2024 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第1部分：理化性能
GB/T 43793.2-2024 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第2部分：光学性能
GB/T 43793.3-2024 平板显示用彩色光刻胶测试方法 第3部分：可靠性
GB/T 31370.1-2015 平板显示器(FPD)彩色滤光片测试方法 第1部分:颜色和透光率
GB/T 31370.4-2015 平板显示器(FPD)彩色滤光片测试方法 第4部分:耐化学性
IPC MI-660 5.3-1984 干电影光刻胶
GOST R 52250-2004 电子工程材料.光刻工艺抗蚀剂.通用规范