GB/T45826-2025 光刻用掺钛石英玻璃
检测项目：
省心测检测平台依据GB/T45826-2025标准，为客户提供光刻用掺钛石英玻璃的专业检测服务，涵盖外观、化学成分、光学性能、物理性能等检测要点，确保检测结果准确可靠。...
| 报告形式 | 电子报告/纸质报告 | 可选语言 | 中文报告/英文报告 |
| 送样方式 | 邮寄样品 | 服务区域 | 全国服务 |
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服务流程：
一、引言
光刻用掺钛石英玻璃在半导体制造等领域具有重要应用。本文依据GB/T45826-2025标准，对其检测要点进行探讨。
二、外观检测
首先要检查玻璃的外观是否平整光滑，有无气泡、划痕、裂纹等缺陷。这些缺陷可能会影响光刻的精度和质量。
三、化学成分检测
根据标准要求，对玻璃中的钛含量以及其他相关元素进行准确测定。确保钛元素的含量符合特定的规格范围。
四、光学性能检测
包括对透光率、折射率等光学参数的检测。良好的光学性能是光刻用掺钛石英玻璃的关键特性之一。
五、物理性能检测
例如硬度、热稳定性等物理性能也需要进行检测。这些性能直接关系到玻璃在实际使用中的可靠性。
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