一、外观检测

外观检测是对微机电系统（MEMS）技术产品的基本要求。需要检查产品表面是否有划痕、裂纹、污渍等缺陷，以及产品的尺寸是否符合标准。外观检测可以使用光学显微镜、电子显微镜等设备进行。

二、性能检测

性能检测是对微机电系统（MEMS）技术产品的核心要求。需要检测产品的灵敏度、分辨率、响应时间、稳定性等性能指标。性能检测可以使用各种测试仪器进行，如示波器、频谱分析仪、激光干涉仪等。

三、可靠性检测

可靠性检测是对微机电系统（MEMS）技术产品的重要要求。需要检测产品在不同环境条件下的可靠性，如温度、湿度、振动、冲击等。可靠性检测可以使用各种测试设备进行，如环境试验箱、振动台、冲击台等。

四、安全性检测

安全性检测是对微机电系统（MEMS）技术产品的关键要求。需要检测产品是否存在安全隐患，如漏电、短路、火灾等。安全性检测可以使用各种测试设备进行，如绝缘电阻测试仪、漏电保护器、火灾报警器等。