服务背景

AMC系指-环境中有能力沈降于表面上形成单分子层（monolayer）薄膜之气态化学污染物质。因半导体晶圆越微小化、平面显示器尺寸巨大化，制程产品正面临微量污染物严重威胁，对于无尘室生产环境的洁净度要求也越来越严谨及重要。现今AMC的污染浓度虽未与目前的洁净室等级形成直接关系，但AMC的存在确实对制程有严重的影响。AMC常见来源：制程中使用的化学品，造成化学滤网效率降低或释出邻近工厂使用含硫有机溶剂排放之有机硫化物石化制程排放之挥发性有机物及其光化学反应物质大气中硫氧化物，氮氧化物洁净室部分建材、机具、器材等相关物品所挥发之VOCsAMC种类：

服务

1. MA、MB：酸性与碱性空降分子污染采样与分析

2. MC：可沉降物质及有机气体分子采样与分析

3. MD：参杂性空降分子污染采样与分析

4. MM：金属空降分子污染采样与分析

5. S硫化物分子污染采样与分析

6. 高效滤网及化学滤网过滤效率分析

7. AMC污染解决方案

解决方案

洁净室AMC检测能提供各种模式的服务

1. 委托样品采集分析

客户没有现场采样设备及采样经验，可以委托到现场进行采样与分析，工程师到客户现场进行采样可以避免采样过程的失误与污染。

2. 客户自行样品采集后委托分析

如客户希望自行采样，可协助客户建立采样能力，以达到时间与成本的优化。

采样设备租借、采样教育训练课程、采样能力建置打包方案。