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服务
■ 半导体可靠度实验室可提供检验芯片可靠度、器件失效分析、供应链DPA到汽车半导体AEC-Q等解决方案，助力客户全面提升产品的质量。■ 化学痕量分析实验室能提供生产过程中使用的超纯水、化学品来料检验到无尘室环境分析服务。
半导体物理&化学测试方案
半导体可靠度实验室及化学痕量分析实验室致力为您提供全面、专业的半导体物理测试和半导体化学测试。
一、半导体物理测试方案1. 半导体供应链质量控制DPA
| 外观检查（光学显微镜） | X-ray 检查 | SAT 检查 |
| SEM-EDS 电子显微镜 | IR Reflow 回流焊 | Pre-Condition Test/ MSL |
| De-cap开封 | Cross-section 截面研磨 | P-lapping 分析 |
| Dual beam FIB | WBS 绑线拉剪切力 | WBP 绑线拉力 |
2. 汽车半导体认证测试AEC-Q测试标准：AEC-Q100（集成芯片）、AEC-Q103（MEMS）、AEC-Q101（分立半导体）、AEC-Q104（多晶圆及模组体）、AQG-324（功率器件）、AEC-Q102（分立光电半导体）、AEC-Q200（被动元器件）封装IC：加速环境应力测试、加速寿命模拟试验、封装凹陷测试3. 半导体产品质量管控
| 加速环境应力试验 | 加速寿命模拟试验 | 封装完整性测试 |
| 电性验证测试 | 空腔封装完整性测试 | 无损分析 |
| 破坏性分析 | 故障定位分析 | ESD-HBM/MM/CDM |
| Latch-up |
二、半导体化学测试方案1. 制程环境控制
| 洁净室设计 / 建置 / 训练与顾问服务 | 洁净室效能测试（ISO 14644） |
| 空降分子污染（AMC）控制（SEMI F21） | 超纯水（UPW）检测 |
| 压缩干燥空气（CDA）检测（ISO 8573） |
2. 进料检验
| 电子级化学品检测 | 一般气体及电子级气体 |
| 无尘用品检测 | 晶圆盒 / 包装材料洁净度分析 |
| 硅片检测 / 晶圆表面污染分析 | 材质溶出试验（SEMI F57） |
3. 制程设备
| 设备动态颗粒度测试（ISO 14644-14） | 机台与部件洁净度 / 清洗确认 |
| 设备环境卫生安全基准（SEMI S2） |
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