一、外观检查

在TEM（透射电子显微镜）出厂检测中，外观检查是首要步骤。需要仔细查看显微镜的整体外观是否有损坏、划痕或变形等情况。检查各个部件的连接是否牢固，如物镜、目镜、样品台等的安装是否紧密。要留意仪器的表面涂层是否均匀、完整，有无剥落或瑕疵。

二、光学性能检测

光学性能是TEM的关键特性之一。首先要检测物镜的分辨率，这直接影响到对样品微观结构的成像清晰度。通过特定的测试样品和方法，评估物镜能否达到其标称的分辨率指标。其次是像差的检测，包括球差、色差等，确保显微镜在不同放大倍数下的成像质量。还需检查照明系统的亮度均匀性和稳定性，以保证样品得到良好的照明。

三、机械性能检测

机械性能的检测对于TEM的正常运行至关重要。要测试样品台的移动精度和稳定性，确保能够准确地定位样品。检查物镜的对焦机构是否灵活，能否快速、准确地调整焦距。对显微镜的整体稳定性进行检测，包括在不同环境条件下是否会产生晃动或位移。

四、电子系统检测

电子系统的检测包括对电子枪、透镜系统、探测器等关键部件的性能检测。检查电子枪的发射稳定性和束流强度，确保能够产生高质量的电子束。检测透镜系统的聚焦和成像能力，保证电子束能够准确地聚焦在样品上。对于探测器，要测试其灵敏度和分辨率，以获取准确的信号。

五、功能测试

最后进行功能测试，确保TEM的各项功能正常。包括操作界面的响应是否灵敏，各种按键和旋钮的功能是否正常。检查自动对焦、图像采集、图像处理等软件功能是否完善。进行样品加载和卸载的测试，确保操作的便捷性和安全性。