试验背景

LED用衬底材料一般有蓝宝石衬底、碳化硅衬底及硅衬底三种，其中蓝宝石衬底应用最广泛，因为其加工方法以及加工成本等与其他两种相比较都有不小的优势。
虽说在晶格匹配上面是氮化家衬底砷化该衬底最为匹配，但其生产加工方法要比碳化硅及硅等都更难上加难。 蓝宝石衬底片翘曲度试验可测定蓝宝石切割片、研磨片、抛光片的翘曲度。
省心测第三方实验室可靠性实验中心具备各种蓝宝石衬底片的力学试验能力，为蓝宝石衬底片提供专业的翘曲度力学试验服务。

试验范围

适用于直径50.8 mm~304.8 mm，厚度为不小于200 μm的蓝宝石衬底片。

试验方法

1、接触式测试
将蓝宝石衬底片置放在基准环的3个支点上，3支点形成一个基准平面，利用低压力位移指示器沿规定路径测量蓝宝石衬底片偏离基准平面的距离，记录成对位移指示器的读数并求其差值，针对一系列成对数值的差值取其最大值与最小值的差值除以2，该得值即表示衬底片的翘曲度。
2、非接触式测试
将蓝宝石衬底片置放在基准环的3个支点上，3支点形成一个基准平面，利用非接触式位移传感器沿规定路径测量蓝宝石衬底片偏离基准平面的距离，记录成对位移指示器的读数并求其差值，针对一系列成对数值的差值，取其最大值与最小值的差值除以2，该得值即表示衬底片的翘曲度。
3、白光干涉式测试
激光照射蓝宝石衬底片表面，光经过反射相互叠加干涉，干涉图经光学成像系统记录，开始高低形貌测量；物镜在Z轴方向上不断微小的移动，在每个移动位置上，光学成像系统进行拍照收集图片，形成整个三维形貌数据。经信号处理系统后得到衬底片的翘曲度。

试验标准

GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
GB/T 2828.1计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划
GB/T 6620硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T14264 半导体材料术语