一、外观检测
光掩模石英玻璃基板的外观应无明显划痕、裂纹、气泡、结石等缺陷。这些缺陷可能会影响光掩模的质量和性能。
二、尺寸检测
按照GB/T34178-2017标准,对光掩模石英玻璃基板的尺寸进行精确测量。包括长度、宽度、厚度等参数,确保其符合设计要求。
三、光学性能检测
检测光掩模石英玻璃基板的光学性能,如透过率、吸收率、折射率等。这些参数对于光掩模的成像质量至关重要。
四、化学性能检测
检查光掩模石英玻璃基板的化学稳定性,如耐酸碱性、耐水性等。确保其在不同环境下不会发生化学反应而影响性能。
五、硬度检测
测定光掩模石英玻璃基板的硬度,以评估其抗划伤和耐磨性能。这对于光掩模的长期使用和保护具有重要意义。

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